氦质谱检漏仪的主要配置

北京科创鼎新真空技术有限公司（简称：科创真空）是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的专业化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。

1. 检漏仪专用分子泵

2. 机械泵或者干泵

3. 定制检漏仪专用电磁阀

4. 内置标准漏口

5. 放大器

6. 采用质谱专用模块

以上是科创真空为您一起分享的内容，科仪创新专业生产氦检漏，欢迎新老客户莅临。

氦质谱检漏仪的基本原理及主要组成部分

氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小1。5氦质谱检漏和JB/T7261铝制板翅式热换器中漏率要求，检漏口真空度一般要求为：1。

三．氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法

在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。氦质谱检漏仪灯丝脆断故障检漏技术在我国经济中占有非常重要的地位，被广泛应用于半导体、原子能、电力、航空、航天、、制冷、真空、汽车等行业。

氦质谱检漏仪

喷氦法

喷氦法是，的检漏方法。检漏时，用连接在装有氦气的气瓶上的喷枪向怀疑有漏泄的部位喷氦气，如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置，则装置内的氦分压就会上升，氦检漏仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少，超过标准漏率值的可视为不合格。2Mpa的干燥、洁净、无油的气体，在换热器表面的焊缝处刷一定浓度的肥皂水，如果存在泄漏点，会连续形成肥皂泡或者肥皂泡被吹飞。

喷氦法检漏中应该注意以下几个问题：

1、实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于喷枪所喷出的氦气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使氦气的浓度有所降低。二是喷枪喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。

2、检漏次序：从被检件物体的上方至下方，由*近检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。

3、检出的大漏孔要经修补后再去漏孔。

4、当存在两个相距很近的的漏孔点时，应先把一个点盖住，在对另一点用细的喷枪进行喷氦。

5、当喷枪喷在某一点时，如果，检漏仪上的显示有变化，其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。

6、检出漏孔后，还应再做几次复检。

7、检漏场地要有良好的通风条件，但也不能太大，不应影响喷枪喷出的氦气气流的方向。

氦质谱检漏仪主要部件---真空泵的概述与分类

真空泵(vacuum pump)

利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备(如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等)组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、、航天等部门。

按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

气体输送泵包括：1、液环真空泵(水环真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。

目前工业中应用较多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。

W型往复式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工，食品，建材等部门，特别是在真空结晶，干燥，过滤，蒸发等工艺过程中更为适宜。

2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。

2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。

XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )